Header

Shop : Details

Shop
Details
978-3-8440-0358-1
49,80 €
ISBN 978-3-8440-0358-1
Softcover
266 pages
395 g
21 x 14,8 cm
German
Reference book
September 2011
Albert Weckenmann (Hrsg.)
Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Abschlussbericht DFG Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano
Dieser Abschlussbericht ist dem von der DFG geförderten Schwerpunktprogramm (SPP 1159) „Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen“ gewidmet und beinhaltet allgemeingültige Ergebnisse aus den Projekten und insbesondere auch aus den projektübergreifenden Arbeitskreisen. Diese wurden an Universitäten, bei der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB), der Bundesanstalt für Materialprüfung (BAM) und Fraunhofer-Instituten in sechsjähriger Forschungsarbeit erzielt.

Zahlreiche innovative Forschungsansätze zur Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen wurden im Rahmen dieses koordinierten Forschungsprogramms gebündelt und wichtige Grundlagen für eine industrielle Nutzung geschaffen. Der Inhalt umreißt insbesondere Grundsätze und Prinzipien für die Gestaltung von Elementen der allgemein gültigen prüftechnischen Kette. Diese umfasst alle Phasen eines Prüfprozesses von der Definition der Messgröße bis zur Bewertung des Messergebnisses für die Konformitätsprüfung, die Fertigungslenkung und die Kalibrierung von Messgeräten und Normalen in der Mikro- und Nanotechnologie. In den Projekten des Schwerpunktprogramms wurden Grundsätze, Prinzipien und Regeln für die Messgrößendefinition, Messabläufe und Gestaltung von Elementen der prüftechnischen Kette erforscht und in Experimenten verifiziert.

Die Beiträge lassen sich diesen Teilbereichen zuordnen:
  • Mikrotolerierung
  • Mikrogetriebe und Mikroverzahnungen
  • Streulicht-Messprozesse
  • Untersuchung von Oberflächendefekten und Nanostrukturen
  • Intervallmethoden zur Bewertung unsicherer Messinformationen
  • Grundlagen für Mikro-Kalibrierstrukturen
  • Moderne Filterverfahren in der Oberflächen-/Rauheitsmesstechnik
  • Haftfestigkeitsprognose von Mikrobeschichtungen
  • Parallelisierte Messtechnik für Mikrostrukturen
  • Fusion von Messergebnissen unterschiedlicher Messverfahren
  • Messunsicherheitsermittlung in der Mikro- und Nanomesstechnik
Der Abschlussbericht umfasst zudem die Ergebnisse zu übergreifenden Themen, die in Arbeitskreisen diskutiert und bearbeitet wurden. Forschungsaktivitäten fanden in den Arbeitskreisen „Datenfusion und Datenmodell“, „Messunsicherheit, Kalibrierung und Normale“, „Modellierung, virtuelle Messgeräte“, „Oberfläche, Rauheit, Hydrophilie“ und „Standard Geometrie Elemente, geometrische Größen und Algorithmen“ statt.
Keywords: Messtechnik; Prüftechnik; Produktion von Mikrosystemen; Produktion von Nanostrukturen
Available online documents for this title
You need Adobe Reader, to view these files. Here you will find a little help and information for downloading the PDF files.
Please note that the online documents cannot be printed or edited.
Please also see further information at: Help and Information.
 
 DocumentAbstract 
 TypePDF 
 Costsfree 
 ActionDownloadDownload the file 
     
 
 DocumentDocument 
 TypePDF 
 Costs37,35 € 
 ActionDownloadPurchase in obligation and download the file 
     
 
 DocumentTable of contents 
 TypePDF 
 Costsfree 
 ActionDownloadDownload the file 
     
User settings for registered online customers (online documents)
You can change your address details here and access documents you have already ordered.
User
Not logged in
Export of bibliographic data
Shaker Verlag GmbH
Am Langen Graben 15a
52353 Düren
Germany
  +49 2421 99011 9
Mon. - Thurs. 8:00 a.m. to 4:00 p.m.
Fri. 8:00 a.m. to 3:00 p.m.
Contact us. We will be happy to help you.
Captcha
Social Media