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48,80 €ISBN 978-3-8440-8747-5Softcover178 pages94 figures263 g21 x 14,8 cmEnglishThesis
September 2022
Babak Soltani
Laser-assisted grinding of Silicon Nitride by picosecond laser
Siliziumnitrid (Si3N4) ist ein ein Hochleistungskeramikmaterial mit außergewöhnlichen mechanischen, thermischen und chemischen Eigenschaften. Trotz aller Vorteile wurde der Einsatz von Si3N4 durch die hohen Bearbeitungs- und Nachbearbeitungskosten erschwert.
Hier wurde ein neuartiges lasergestütztes Schleifverfahren entwickelt, um die Materialabtragsraten beim Schleifen von Si3N4 zu erhöhen.
Keywords: Ultrashort pulse laser; Grinding; Silicon nitride; Simulation
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