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978-3-8322-6354-6
45,80 €
ISBN 978-3-8322-6354-6
Softcover
142 pages
52 figures
209 g
21 x 14,8 cm
German
Thesis
July 2007
Felix Petri
Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase
Keywords: MEMS; Dämpfung ausgedünnter Gase; Wärmeübertragung durch ausgedünnte Gase
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