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1. | NEW Alexander Thewes Untersuchungen zum Eigenschaftenprofil mehrphasiger Ti-Si-B-C-N Dünnschichten Series: Verfahrenstechnik 978-3-8440-9617-0, September 2024 Online publication (PDF) Innerhalb dieser Arbeit wurden Ti-Si-B-C-N Schichten abgeschieden und untersucht, damit ein gesamtheitliches Verständnis des Eigenschaftenprofils in Abhängigkeit der Schichtzusammensetzung und Abscheidebedingungen ... more ... | 55,80 € |
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