• Home
  • About us
  • Your Publication
  • Catalogue
  • Newsletter
  • Help
  • Account
  • Contact / Imprint
Thesis - Publication series - Conference proceedings - Reference book - Lecture notes/Textbook - Journal - CD-/DVD-ROM - Online publication
Newsletter for authors and editors - New publications service - Archive
View basket
Catalogue : Details

Martin Schellenberger

Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage

ISBN:978-3-8440-0264-5
Series:Erlanger Berichte Mikroelektronik
Herausgeber: Prof. Dr.-Ing. H. Ryssel and Prof. Dr. rer. nat. L. Frey
Erlangen
Volume:2011,3
Keywords:Halbleiterfertigung; Mikroelektronik; APC; Messtechnik; Integration; Software; Architektur
Type of publication:Thesis
Language:German
Pages:182 pages
Figures:66 figures
Weight:270 g
Format:21 x 14,8 cm
Bindung:Paperback
Price:48,80 € / 97,60 SFr
Published:August 2011
Buy:
  » plus shipping costs
Download:

Available PDF-Files for this title:

You need the Adobe Reader, to open the files. Here you get help and information, for the download.

These files are not printable.

 
 DocumentAbstract 
 TypePDF 
 Costsfree 
 ActionDisplay of file - 91 kB (93092 Byte) 
 ActionDownload of file - 91 kB (93092 Byte) 
     
 
 DocumentDocument 
 TypePDF 
 Costs36,60 EUR 
 ActionPurchase in obligation and display of file - 2,0 MB (2116664 Byte) 
 ActionPurchase in obligation and download of file - 2,0 MB (2116664 Byte) 
     
 
 DocumentTable of contents 
 TypePDF 
 Costsfree 
 ActionDisplay of file - 102 kB (104166 Byte) 
 ActionDownload of file - 102 kB (104166 Byte) 
     

User settings for registered users

You can change your address here or download your paid documents again.

User:  Not logged in.
Actions:  Login / Register
 Forgotten your password?
Recommendation:You want to recommend this title?
Review copy:Here you can order a review copy.
Link:You want to link this page? Click here.
Export citations:
Text
BibTex
RIS
Abstract:Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung eines neuen, modularen Steuerungskonzepts für die Integration und Steuerung von Messtechnik in der Halbleiterfertigung. Der wesentliche Anwendungsbereich ist der Ein- oder der Anbau von Sensoren oder Messköpfen in Produktionsanlagen oder Handhabungsgeräten mit dem Ziel, Messungen während oder kurz nach einem Prozessschritt durchführen zu können. Eine solche zeitnahe Charakterisierung von Produkt- oder Scheibenparametern ist die Basis für weiterführende Methoden zur automatisierten Prozesskontrolle.
Viele Integrationsansätze haben die instrumentelle Integration, also den physischen Einbau eines Sensors oder Messkopfs im Fokus. Die ebenso notwendige Software zur Bedienung und Steuerung des Messinstruments auch im komplexen Verbund einer Produktionsanlage spielt häufig eine unter-geordnete Rolle – mit bekannt nachteiligen Auswirkungen auf die zeitgerechte Fertigstellung einer Integration und deren korrekten und vollständigen Funktionsweise, Erweiterbarkeit, Wartbarkeit etc.
Im Zentrum dieser Arbeit steht deshalb ein breit anwendbares Steuerungskonzept zur Realisierung von Steuerungssoftware, das flexibel an verschiedene Integrationsszenarien angepasst werden kann. Um ein solches Steuerungskonzept möglichst vollständig entwerfen zu können, werden existierende Lösungsansätze für die Integration von Messtechnik diskutiert und systematisiert. Diese Systematisierung dient als Basis für den ersten Schwerpunkt der Arbeit: den Entwurf der neuen, modularen Softwarearchitektur für die Integration von Messtechnik. Wesentliche Merkmale dieser Architektur sind ihr umfassender Ansatz, ihr modularer Aufbau und ihre Flexibilität.
Im zweiten Schwerpunkt der Arbeit wurde das Steuerungskonzept für die Anwendung an einem Messsystem in einer Mehrkammerprozessanlage umgesetzt und die Steuerungssoftware „EasyControl M“ programmiert. Basierend auf den Erfahrungen mit der realisierten Steuersoftware wird das erarbeitete Steuerungskonzept diskutiert, insbesondere im Hinblick auf den geleisteten Implementierungsaufwand, die durchgeführten Tests mit der Steuerungssoftware und das weitere Nutzungspotential.
Hervorzuheben ist der im Steuerungskonzept vorgesehene und in der Steuerungssoftware umgesetzte Simulationsmodus, der die schrittweise Implementierung und den Test einzelner Softwarekomponenten erlaubt und die Nutzung der Steuerungssoftware zu Demonstrations- oder Schulungszwecken ermöglicht, ohne dass das zu steuernde Gerät vorhanden sein muss.