Catalogue : Details

Christian Herbst

Modellierung und Simulation Parallelisierter Taktiler Messtechnik für Mikrostrukturen

ISBN:

978-3-8440-4932-9

Series:

Schriftenreihe des Instituts für Produktionsmesstechnik
Herausgeber: Prof. Dr.-Ing. Rainer Tutsch
Braunschweig

Volume:

Keywords:

Simulation; Computersimulation; FEM; Koordinatenmesstechnik; Taktile Koordinatenmesstechnik; Mikrotechnik; Mikrostrukturen

Type of publication:

Thesis

Language:

German

Pages:

128 pages

Figures:

45 figures

Weight:

177 g

Format:

21 x 14,8 cm

Bindung:

Paperback

Price:

45,80 € / 57,30 SFr

Published:

December 2016

Buy:

DOI:

10.2370/9783844049329 (Online document)

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Abstract:

Mikrotechnisch hergestellte Strukturen stellen mit ihren Strukturgrößen, optisch nicht kooperierenden Oberflächen und den großen Stückzahlen besondere Anforderungen an die geometrische Messtechnik. Diesen Anforderungen wurde mit der Entwicklung eines 3x3 Arrays aus mikrotechnisch hergestellten Mikrotastern begegnet.

Die Parallelisierung der Taster erforderte ein spezielles Mikro-Koordinatenmessgerät (µKMG), welches durch drei zusätzliche rotatorische Freiheitsgrade die Ausrichtung des Tasterarrays an die Raumlage eines Messobjektes ermöglicht.

Um diese neue Messtechnik effizient untersuchen und weiter entwickeln zu können, wurde eine Simulationsumgebung programmiert. Basierend auf Analysen der mechanischen Eigenschaften des Einzeltasters wurde eine Kalibrierstrategie entwickelt und verifiziert, für die ein einfaches Kalibrierobjekt ausreicht. Weiterhin wurde die grundlegende Antaststrategie für alle parallelisierten taktilen Messungen hergeleitet.