Tran Nhu Hong HanusHerstellung und Charakterisierung von Aluminiumoxidschichten nach dem Verfahren der aerosolbasierten Kaltabscheidung | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ISBN: | 978-3-8440-6663-0 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Series: | Bayreuther Beiträge zu Materialien und Prozessen Herausgeber: Prof. Dr.-Ing. Ralf Moos and Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer Bayreuth | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Volume: | 10 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Keywords: | Aerosolbasierte Kaltabscheidung; Aluminiumoxidschichten; Aluminiumoxid | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Type of publication: | Thesis | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Language: | German | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Pages: | 150 pages | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Figures: | 67 figures | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Weight: | 221 g | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Format: | 21 x 14,8 cm | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Binding: | Paperback | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Price: | 45,80 € / 57,30 SFr | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Published: | April 2019 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Buy: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Download: | Available PDF-Files for this title: You need the Adobe Reader, to open the files. Here you get help and information, for the download. These files are not printable.
User settings for registered users You can change your address here or download your paid documents again.
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Recommendation: | You want to recommend this title? | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Review copy: | Here you can order a review copy. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Link: | You want to link this page? Click here. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Export citations: |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Abstract: | Um keramische Bauteile und Schichten herzustellen, benötigt man üblicherweise Temperaturen über 1000 °C. In den letzten Jahren hat ein Verfahren große Aufmerksamkeit erlangt, welches es erlaubt, dichte keramische Schichten ohne Hochtemperaturprozesse zu erzeugen. Das im engl. oft als Aerosol Deposition Method bezeichnete und mit ADM abgekürzte Verfahren ermöglicht die Aufbringung keramischer Schichten bei Raumtemperatur direkt aus dem keramischen Pulver auf Substratmaterialien aller Werkstoffklassen. Durch eine Pulverschüttung hindurch wird ein Prozessgas geleitet. Dadurch entsteht ein Pulver-Aerosol, welches durch eine Druckdifferenz vom Aerosolerzeuger in die Vakuumkammer befördert wird. Dort wird das Aerosol durch eine Düse auf mehrere hundert m/s beschleunigt und auf das zu beschichtende Substrat gelenkt. Dabei können fest anhaftende, dichte Beschichtungen von etwa 1 µm bis 100 µm Dicke entstehen. Die funktionellen Materialeigenschaften der erzeugten Schicht sind dabei prinzipiell ähnlich dem Ausgangsmaterial. Ein industrieller Einsatz dieser Methode würde völlig neue Anwendungsmöglichkeiten eröffnen. Dafür müssen jedoch sowohl die grundlegenden Mechanismen der Schichtbildung verstanden als auch ausführliche empirische Parameterstudien, die die Prozessparameter betreffen, durchgeführt werden. Hier setzt diese Arbeit an. Anhand des Werkstoffes Aluminiumoxid werden umfangreiche Parameterstudien durchgeführt, die sowohl das Pulver und dessen Vorbehandlung als auch Prozessparameter wie Düsengeometrie oder Abstand der Düse vom Substrat betreffen. Ziel ist es, einen wissenschaftlich untermauerten Erfahrungsschatz zu gewinnen, der den groben Horizont der Parameter absteckt, die zu einer guten Schichtbildung führen. |