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48,80 €ISBN 978-3-8440-7501-4Softcover182 pages77 figures270 g21 x 14,8 cmGermanThesis
August 2020
Thomas Künzig
Problemangepasste Modellierung und Simulation von Mikrosystemen mit physikalisch basierten Modellen
Der Einsatz von modellbasierten, virtuellen Prototypen ermöglicht den zeit- und kosteneffizienten Entwurf von Mikrosystemen. Diese Arbeit stellt ein modulares, physikalisch basiertes Modellierungskonzept vor, mit dem Modelle für die vielfältigen Mikrosysteme auf die jeweilige Problemstellung im Entwurf maßgeschneidert und so optimal eingesetzt werden können. Anhand von zwei sehr unterschiedlichen Mikrobauelementen – einem Hochfrequenz-Mikroschalter und einem Silizium-Mikrofon – wird dieses Konzept veranschaulicht und bewertet.
Keywords: Mikrosystem; MEMS; Modellierung; Simulation; Mikroschalter; Mikrofon
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
Edited by Prof. Dr. Gerhard Wachutka †, Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel † and Prof. Dr. rer. nat. Gabriele Schrag, München
Volume 50
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