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45,80 €ISBN 978-3-8440-7557-1Softcover124 pages67 figures182 g21 x 14,8 cmGermanThesis
September 2020
Johannes Manz
Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
In dieser Arbeit wurde ein alternatives Konzept eines MEMS-Mikrofons entworfen, um das Signal-Rausch-Verhältnis zu verbessern. Im neuen Bauelementkonzept wird das Schallsignal durch die Kapazitätsänderung in einer mikromechanischen Kammstruktur detektiert. Zur Unterstützung des Entwurfsprozesses wurde ein physikalisch basiertes modulares Simulationsmodell abgeleitet, das die gesamte Mikrofonfunktion prädiktiv abbildet. Die erfolgreiche Umsetzung des Konzepts zeigt sich in den realisierten Prototypen, die zusammen mit umfassenden theoretischen Untersuchungen das Potential des neuartigen Mikrofonkonzepts unterstreichen.
Keywords: MEMS; Mikrofon; Kammstruktur; Rauschen
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
Edited by Prof. Dr. Gerhard Wachutka †, Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel † and Prof. Dr. rer. nat. Gabriele Schrag, München
Volume 51
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