Philipp Ninz

Dotierte Aluminiumoxid Substrate und deren Herstellungsprozessketten für die selektive laserinduzierte Metallisierung


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ISBN:

978-3-8440-8446-7

Series:

Forschungsberichte des Instituts für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB)
Herausgeber: o. Prof. Dr. rer. nat. Dr. h.c. mult. Rainer Gadow
Stuttgart

Keywords:

Hochleistungskeramik; Aluminiumoxid; 3D-MID; Räumlich integrierte Schaltungsträger; keramische Substrate; selektive Metalisierung; außenstromlose Metallisierung

Type of publication:

Thesis

Language:

German

Pages:

214 pages

Figures:

144 figures

Weight:

318 g

Format:

24 x 17 cm

Bindung:

Paperback

Price:

49,80 € / 62,30 SFr

Published:

February 2022

Buy:

DOI:

10.2370/9783844084467 (Online document)

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Abstract:

Die vorliegende Arbeit untersucht die Dotierung von Aluminiumoxidkeramiken mit dem Ziel diese mittels laserindizierter Aktivierung und außenstromloser Metallisierung selektiv mit metallischen Strukturen versehen zu können. Dazu werden unterschiedliche pulverförmige Dotierungsstoffe, Werkstoffzusammensetungen und Laseraktivierungsparamter untersucht und der Einfluss auf die Metallabscheidung sowie anwendungsrelevante Materialeigenschaften evaluiert. Die Substratherstellung zur Werkstoffentwicklung erfolgt mittels Schlickerguss. Zur Ermöglichung der industriellen Formgebung erfolgt der Übertrag in den keramischen Pulverspritzguss für den formgebungsprozessbedingte Einflussfaktoren auf die Metallabscheidung und die Schichteigenschaften untersucht werden. In geringerem Umfang wird die Formgebung über ein additives Verfahren betrachtet wobei die Einbringung der Dotierungsstoffe mittels Tauchinfiltration erarbeitet wurde.
Die Ergebnisse zeigen, dass die Dotierung von Aluminiumoxidwerkstoffen mit wenigen Gewichtsprozent Nickel- oder Chromoxid eine effektive und kostengünstige Methode darstellt die selektive Metallisierung keramischer Substrate mittels laserinduzierter Aktivierung und außenstromloser Metallisierung zu ermöglichen.