Bastian Gaedike

Elektrisch leitfähige Targetwerkstoffe zur PVD-Abscheidung von Hartstoffschichten für Zerspanungswerkzeuge in HiPIMS-Anlagen


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ISBN:

978-3-8440-8509-9

Series:

Forschungsberichte des Instituts für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB)
Herausgeber: o. Prof. Dr. rer. nat. Dr. h.c. mult. Rainer Gadow
Stuttgart

Keywords:

PVD; HiPIMS; keramische Dünnschichten

Type of publication:

Thesis

Language:

German

Pages:

150 pages

Figures:

81 figures

Weight:

221 g

Format:

24 x 17 cm

Bindung:

Paperback

Price:

45,80 € / 57,30 SFr

Published:

March 2022

Buy:

DOI:

10.2370/9783844085099 (Online document)

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Abstract:

In dieser Arbeit wurden elektrisch leitfähigen Keramiken als Targetwerkstoff für den Einsatz als hitzebeständiger Verschleißschutz in der Zerspanung erforscht. Dabei ist es gelungen, mittels HiPIMPS-Verfahren elektrisch leitfähige Keramiken als Targetwerkstoff mittels Titannitrid-Dotierung von Zirkonoxid-verstärkten Aluminiumoxiden (ZTA) herzustellen und als Schichtwerkstoff gezielt abzuscheiden. Die Voraussetzungen für die Herstellung dieser keramischen Targets über die gesamte Fertigungsprozeßkette konnten ermittelt werden, um eine erfolgreiche technische und wirtschaftliche Umsetzung zu ermöglichen. Ferner wird aufgezeigt, welche Prozessparameter im HiPIMS-Prozess entscheidend für eine hohe Schichtgüte auf dem Schneidwerkzeug sind.