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Bastian Gaedike

Elektrisch leitfähige Targetwerkstoffe zur PVD-Abscheidung von Hartstoffschichten für Zerspanungswerkzeuge in HiPIMS-Anlagen

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ISBN:978-3-8440-8509-9
Series:Forschungsberichte des Instituts für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB)
Herausgeber: o. Prof. Dr. rer. nat. Dr. h.c. mult. Rainer Gadow
Stuttgart
Keywords:PVD; HiPIMS; keramische Dünnschichten
Type of publication:Thesis
Language:German
Pages:150 pages
Figures:81 figures
Weight:221 g
Format:24 x 17 cm
Bindung:Paperback
Price:45,80 € / 57,30 SFr
Published:March 2022
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DOI:10.2370/9783844085099 (Online document)
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RIS
Abstract:In dieser Arbeit wurden elektrisch leitfähigen Keramiken als Targetwerkstoff für den Einsatz als hitzebeständiger Verschleißschutz in der Zerspanung erforscht. Dabei ist es gelungen, mittels HiPIMPS-Verfahren elektrisch leitfähige Keramiken als Targetwerkstoff mittels Titannitrid-Dotierung von Zirkonoxid-verstärkten Aluminiumoxiden (ZTA) herzustellen und als Schichtwerkstoff gezielt abzuscheiden. Die Voraussetzungen für die Herstellung dieser keramischen Targets über die gesamte Fertigungsprozeßkette konnten ermittelt werden, um eine erfolgreiche technische und wirtschaftliche Umsetzung zu ermöglichen. Ferner wird aufgezeigt, welche Prozessparameter im HiPIMS-Prozess entscheidend für eine hohe Schichtgüte auf dem Schneidwerkzeug sind.