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March 2015
New publication
Teresa Reutter
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
Es wird ein neuartiges Design für ein Piezo-MEMS-Mikrophon entwickelt, dessen Membran herstellungsbedingte intrinsische Spannungen kompensiert. Die Optimierung stützt sich dabei auf ein kalibriertes elektromechanisches FEM-Modell mit einem reduzierten Satz an signifikanten Parametern, die mittels Varianzanalyse identifiziert werden. Schließlich wird ein Kirchhoffsches Netzwerkmodell für die Gehäusedämpfung erstellt, womit sich eine Mikrophonsensitivität von -40,6 dBV prognostizieren lässt.
Keywords: MEMS-Mikrophon; FEM; Simulation; ANOVA; AlN
Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
Edited by Prof. Dr. Gerhard Wachutka †, Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel † and Prof. Dr. rer. nat. Gabriele Schrag, München
Volume 47
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The book <a href="https://www.shaker.eu/shop/978-3-8440-3490-5">Teresa Reutter - Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation</a><br />(ISBN: 978-3-8440-3490-5) was published by <a href="https://www.shaker.eu">Shaker Verlag</a>.
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The book Teresa Reutter - Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
(ISBN: 978-3-8440-3490-5) was published by Shaker Verlag.
(ISBN: 978-3-8440-3490-5) was published by Shaker Verlag.
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The series <a href="https://www.shaker.eu/category/254">Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik</a> is published by <a href="https://www.shaker.eu">Shaker Verlag</a>.
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Shaker Verlag GmbH
Am Langen Graben 15a
52353 Düren
Germany
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Mon. - Thurs. 8:00 a.m. to 4:00 p.m.
Fri. 8:00 a.m. to 3:00 p.m.
Fri. 8:00 a.m. to 3:00 p.m.
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