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45,80 €
ISBN 978-3-8440-3490-5
Softcover
146 pages
2 figures
215 g
21 x 14,8 cm
German
Thesis
March 2015

Teresa Reutter

Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation

Es wird ein neuartiges Design für ein Piezo-MEMS-Mikrophon entwickelt, dessen Membran herstellungsbedingte intrinsische Spannungen kompensiert. Die Optimierung stützt sich dabei auf ein kalibriertes elektromechanisches FEM-Modell mit einem reduzierten Satz an signifikanten Parametern, die mittels Varianzanalyse identifiziert werden. Schließlich wird ein Kirchhoffsches Netzwerkmodell für die Gehäusedämpfung erstellt, womit sich eine Mikrophonsensitivität von -40,6 dBV prognostizieren lässt.

Keywords: MEMS-Mikrophon; FEM; Simulation; ANOVA; AlN

Selected Topics of Electronics and Micromechatronics Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik

Edited by Prof. Dr. Gerhard Wachutka †, Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel † and Prof. Dr. rer. nat. Gabriele Schrag, München

Volume 47

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