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45,80 €ISBN 978-3-8440-8509-9Softcover150 pages81 figures221 g24 x 17 cmGermanThesis
March 2022
Bastian Gaedike
Elektrisch leitfähige Targetwerkstoffe zur PVD-Abscheidung von Hartstoffschichten für Zerspanungswerkzeuge in HiPIMS-Anlagen
In dieser Arbeit wurden elektrisch leitfähigen Keramiken als Targetwerkstoff für den Einsatz als hitzebeständiger Verschleißschutz in der Zerspanung erforscht. Dabei ist es gelungen, mittels HiPIMPS-Verfahren elektrisch leitfähige Keramiken als Targetwerkstoff mittels Titannitrid-Dotierung von Zirkonoxid-verstärkten Aluminiumoxiden (ZTA) herzustellen und als Schichtwerkstoff gezielt abzuscheiden. Die Voraussetzungen für die Herstellung dieser keramischen Targets über die gesamte Fertigungsprozeßkette konnten ermittelt werden, um eine erfolgreiche technische und wirtschaftliche Umsetzung zu ermöglichen. Ferner wird aufgezeigt, welche Prozessparameter im HiPIMS-Prozess entscheidend für eine hohe Schichtgüte auf dem Schneidwerkzeug sind.
Keywords: PVD; HiPIMS; keramische Dünnschichten
Forschungsberichte des Instituts für Fertigungstechnologie keramischer Bauteile (IFKB)
Edited by o. Prof. Dr. rer. nat. Dr. h.c. mult. Rainer Gadow, Stuttgart
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DOI 10.2370/9783844085099
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