Die vorliegende Dissertation präsentiert vier Fertigungsverfahren für die präzise Strukturierung von dreidimensionalen Mikrosystemen in Edelstahl. Ermittelt ...
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Die zunehmende Miniaturisierung von Systemen bei stetig erhöhter Funktionsdichte ist in vielen verschiedenen Industriezweigen zu beobachten. Diese ist ...
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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Entwicklung piezoresistiver dreidimensionaler Tastsensoren auf der Basis von SU-8-Fotoresist. In Anlehnung ...
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Die gesamtwirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik ist nach wie vor ungebrochen. Besonders die Bedeutung hybrider Mikrosysteme wird aufgrund ihrer ...
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Die ständig steigenden Anforderungen an sämtliche technische Gerätschaften vom Mobiltelefon über Automobile bis hin zu Flugzeugen machen den Einsatz neuer ...
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Die Erzeugung eines Nichtgleichgewichtsplasmas bei Atmosphärendruck zeigt immer wieder Vorteile bei Niedertemperatur-Anwendungen und erlaubt den Betrieb, ...
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In dieser Dissertation wurden drei verschiedene Projekte („bistabiles Mikroventil auf Silizium-Basis“, „Lab-on-a-Chip für die Point-of-Care-Diagnostik“ ...
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Mikrotechnisch hergestellte Produkte haben in einer Vielzahl von Feldern des täglichen Lebens Einzug gehalten. All diese Produkte müssen auf Maßhaltigkeit ...
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The main goal of this work was to develop different disposable Lab-on-Chip (LoC) systems for the application of biotechnological screening e.g. for ...
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