Elena López AlonsoPlasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ISBN: | 978-3-8440-3217-8 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Series: | Fertigungstechnik | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Keywords: | Plasmaätzen; Kantenisolation; Glätten; Photovoltaik; Prozesscharakterisierung | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Type of publication: | Thesis | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Language: | German | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Pages: | 176 pages | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Figures: | 82 figures | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Weight: | 261 g | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Format: | 21 x 14,8 cm | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Binding: | Paperback | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Price: | 48,80 € / 61,00 SFr | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Published: | December 2014 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Buy: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Download: | Available PDF-Files for this title: You need the Adobe Reader, to open the files. Here you get help and information, for the download. These files are not printable.
User settings for registered users You can change your address here or download your paid documents again.
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Recommendation: | You want to recommend this title? | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Review copy: | Here you can order a review copy. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Link: | You want to link this page? Click here. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Export citations: |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Abstract: | Photovoltaik kann als umweltfreundliche Technologie in Zukunft einen wichtigen Beitrag zur Energiewandlung leisten. Die Herstellunskosten bei einem hohen Durchsatz sollen möglichst niedrig gehalten werden und dabei spielt die Entwicklung von innovativen kostengünstigen Verfahren eine wesentliche Rolle. Die Einführung von Plasmaprozessen bei Atmosphärendruck bei der Herstellung von kristallinen Siliziumsolarzellen hat das Potential, durch die Verwendung von einfachen Anlagen ohne Vakuumtechnik Kosten zu senken. Mehrere Prozessschritte können außerdem in einer einzelnen Anlage durchgeführt werden.Gegenstand dieser Arbeit sind systematische Unterschungen zum plasmachemischen Ätzen für verschiedene Schritte in der Herstellung von kristallinen Siliziumsolarzellen.Vergleiche zwischen einer Vielzahl von traditionellen und innovativen Ätzgasen, wie COF2 wurden durchgeführt. Mit dem Ätzgas NF3 und unter optimierten Bedingungen konnte eine Ätzrate von über 3,3 μm⋅m/min erzielt werden. Plasmachemisches Ätzen bei Atmosphärendruck konnte erfolgreich für die Kantenisolation von unterschiedlichen Wafersorten angewendet werden. Erheblich höhere Wirkungsgrade als für einige der herkömmlichen Technologien zur Kantenisolation wurden bei dem Rückseitenätzen ohne Ätzangriff der Wafervorderseite erreicht. Durch das Glätten der Waferrückseite wurde nachgewiesen, dass eine bessere Lichteinkopplung in der Solarzelle stattfindet. Wesentlich ist für das Glätten der Waferrückseite eine korrekte Auswahl der Ätzchemie: Beim Einsatz von SF6/O2-Gasmischungen konnte die Geometrie der Strukturen definiert kontrolliert werden. Die Optimierung der Oberfläche führte zu einer Erhöhung der Absorption des Lichtes in der Zelle im infraroten Bereich und dadurch zu einer Verbesserung der Lichteinkopplung. |